Ko te mahi matua o te zirconium tetrachloride i roto i te umanga semiconductor: te whakatairanga i te whanaketanga o te hangarau maramara o muri mai.

Na te whanaketanga tere o te 5G, te mohio mohio (AI) me te Ipurangi o nga Mea (IoT), kua piki ake te hiahia mo nga taonga mahi-nui i roto i te ahumahi semiconductor.Zirconium tetrachloride (ZrCl₄), hei rauemi semiconductor nui, kua noho hei rauemi mata mo nga maramara tukanga matatau (penei i te 3nm/2nm) na tana mahi nui ki te whakarite i nga kiriata teitei-k.

Zirconium tetrachloride me nga kiriata-k teitei

I roto i te hanga semiconductor, ko nga kiriata teitei-k tetahi o nga mea matua hei whakapai ake i te mahi maramara. I te mea ko te tukanga o te whakaheke haere tonu o nga rauemi dielectric kuaha-a-siliconi tuku iho (penei i te SiO₂), ka tata te matotoru ki te rohe o te tinana, ka piki ake te rerenga me te pikinga nui o te kai hiko. Ko nga mea teitei-k (penei i te zirconium oxide, te hafnium oxide, me etahi atu) ka taea te whakanui ake i te matotoru tinana o te paparanga dielectric, te whakaiti i te paanga o te tunneling, me te whakapai ake i te pumau me te mahi o nga taputapu hiko.

Ko te Zirconium tetrachloride tetahi mea nui mo te whakarite i nga kiriata teitei-k. Ka taea te huri i te Zirconium tetrachloride ki nga kiriata waikura zirconium parakore-nui ma roto i nga tikanga penei i te whakahekenga kohu matū (CVD) me te whakamaarama paparanga ngota (ALD). Ko enei kiriata he tino pai nga ahuatanga dielectric ka taea te whakapai ake i te mahi me te kaha o te kaha o nga maramara. Hei tauira, i whakauruhia e TSMC nga momo rauemi hou me te whakapai ake i te tukanga i roto i tana mahinga 2nm, tae atu ki te tono o nga kiriata teitei dielectric tamau, i eke ki te piki ake o te kaha o te transistor me te whakaiti i te kohi hiko.

ZrCl4-paura
Hikohiko me te Hanga Tika

Nga Mahi Hihiko o te Ao

I roto i te mekameka supply semiconductor ao, te supply me te tauira production ozirconium tetrachloridehe mea nui ki te whakawhanaketanga o te ahumahi. I tenei wa, ko nga whenua me nga rohe penei i Haina, te United States me Japan he waahi nui ki te hanga i te zirconium tetrachloride me nga mea e pa ana ki nga rauemi tuuturu.

Nga waahanga hangarau me nga tirohanga a meake nei

Ko nga pakaruhanga hangarau ko nga mea nui ki te whakatairanga i te tono o te zirconium tetrachloride i roto i te ahumahi semiconductor. I roto i nga tau tata nei, ko te arotautanga o te tukanga whakahekenga paparanga ngota (ALD) kua noho hei waahi rangahau. Ka taea e te tukanga ALD te whakahaere tika i te matotoru me te rite o te kiriata i te nanoscale, na reira ka whakapai ake i te kounga o nga kiriata tamau dielectric teitei. Hei tauira, i whakaritea e te roopu rangahau a Liu Lei o te Whare Wananga o Peking tetahi kiriata amorphous dielectric teitei na roto i te tikanga matū maku me te whakamahi pai ki nga taputapu hiko semiconductor rua-ahu.

I tua atu, i te mea kei te haere tonu nga tukanga semiconductor ki nga rahi iti, kei te piki haere ano te whānuitanga tono o te zirconium tetrachloride. Hei tauira, kei te whakamahere a TSMC ki te whakatutuki i te hanga papatipu o te hangarau 2nm i te haurua tuarua o 2025, kei te kaha hoki a Samsung ki te whakatairanga i te rangahau me te whakawhanaketanga o tana mahi 2nm. Ko te whakatutukitanga o enei tukanga matatau kaore e taea te wehe mai i te tautoko o nga kiriata teitei-dielectric tonu, me te zirconium tetrachloride, hei rauemi mata matua, he mea tino nui.

Hei whakarāpopototanga, ko te mahi matua o te zirconium tetrachloride i roto i te umanga semiconductor kei te tino rongonui. Na te rongonui o 5G, AI me te Ipurangi o nga Mea, kei te piki haere tonu te hiahia mo nga maramara mahi teitei. Ko te Zirconium tetrachloride, he mea nui mo nga kiriata teitei-dielectric tonu, ka whai waahi nui ki te whakatairanga i te whanaketanga o te hangarau maramara o muri mai. I nga wa kei te heke mai, me te ahu whakamua tonu o te hangarau me te arotautanga o te mekameka tuku o te ao, ka whanui ake nga tono mo te zirconium tetrachloride.


Te wa tuku: Apr-14-2025