Ko te tono otetrachloride hafniumKo te (HfCl₄) i roto i te hanga hikohiko te nuinga o te aro ki te whakarite i nga rawa dielectric mau tonu (tiketike-k) me nga tikanga tuku matū kohu (CVD). E whai ake nei ona tono motuhake:
Te whakarite i nga rauemi tamau dielectric teitei
Papamuri: Na te whakawhanaketanga o te hangarau semiconductor, kei te heke haere tonu te rahi o nga transistors, a ka kore e taea e te paparanga whakamaarama o te kuaha tuku iho (SiO₂) ki te whakatutuki i nga hiahia o nga taputapu semiconductor mahi nui na te raru o te rerenga. Ka taea e nga rauemi tuuturu teitei te whakanui ake i te kaha o te kaha o nga transistors, na reira ka pai ake te mahi o nga taputapu.
Taupānga: Ko te Hafnium tetrachloride he mea nui mo te whakarite i nga rawa-k teitei (pēnei i te hafnium dioxide, HfO₂). I te wa o te whakaritenga, ka huri te hafnium tetrachloride ki nga kiriata hauhautanga hafnium na roto i nga tauhohenga matū. He pai rawa nga ahuatanga o enei kiriata ka taea te whakamahi hei papa whakamaarama kuaha o nga transistors. Hei tauira, i roto i te tukunga o te HfO₂ teitei o te kuwaha dielectric o MOSFET (metal-oxide-semiconductor field-effect transistor), ka taea te whakamahi hafnium tetrachloride hei hau whakataki o te hafnium.
Tukatuka Kohu Matū (CVD).
Papamuri: Ko te waipara kohu matū he hangarau waipara kiriata angiangi e whakamahia whānuitia ana i roto i te hanga semiconductor.
Taupānga: Ka whakamahia te Hafnium tetrachloride hei tohu i roto i te tukanga CVD ki te whakatakoto i nga kiriata whakarewa hafnium, hafnium ranei. He maha nga whakamahinga o enei kiriata i roto i nga taputapu semiconductor, penei i te hanga transistors mahi teitei, te mahara, me era atu.
Te Hiranga o te Hangarau Pure
He Papamuri: I roto i te hanga semiconductor, ko te ma o te rauemi he paanga nui ki te mahi o te taputapu. Ka taea e te hafnium tetrachloride parakore teitei te whakarite i te kounga me te mahi o te kiriata kua penapena.
Taupānga: Hei whakatutuki i nga whakaritenga o te hanga maramara teitei, ko te ma o te hafnium tetrachloride te nuinga o te waa me eke ki te 99.999%. Hei tauira, kua whiwhihia e Jiangsu Nanda Optoelectronic Materials Co., Ltd. he patent mo te whakarite i te hafnium tetrachloride semiconductor-grade, e whakamahi ana i te tukanga whakapoipoitanga haurua-nui-nui hei pure i te hafnium tetrachloride totoka hei whakarite kia eke te ma o te hafnium tetrachloride kua kohia atu i te 99.999%. Ka taea e tenei tetrachloride hafnium parakore teitei te whakatutuki i nga whakaritenga o te hangarau tukanga 14nm.
Ko te tono o te hafnium tetrachloride i roto i te hanga semiconductor ehara i te mea ko te whakatairanga noa i te whakapai ake o nga mahi taputapu semiconductor, engari ka whakarato ano hoki i tetahi kaupapa tino nui mo te whakawhanaketanga o nga hangarau hangarau semiconductor a meake nei. Na te haere tonu o te hangarau hangahanga semiconductor, ko nga whakaritenga mo te ma me te kounga o te hafnium tetrachloride ka piki ake, ka piki ake, ka whakatairanga ake i te whakawhanaketanga o te hangarau purenga e pa ana.
| Ingoa Hua | Hafnium tetrachloride |
| CAS | 13499-05-3 |
| Tātai Pūhui | HfCl4 |
| Taumaha Molecular | 320.3 |
| Te ahua | Te paura ma |
He pehea te maatanga o te hafnium tetrachloride e pa ana ki nga taputapu semiconductor?
Te parakore o te hafnium tetrachloride (HfCl₄) he paanga tino nui ki te mahi me te pono o nga taputapu semiconductor. I roto i te whakangao semiconductor, ko te hafnium tetrachloride te parakore tetahi o nga mea nui hei whakarite i te mahi me te kounga o te taputapu. Ko nga paanga motuhake o te hafnium tetrachloride purea e whai ake nei i runga i nga taputapu semiconductor:
1. Te paanga ki te kounga me te mahi o nga kiriata kikokore
Te rite me te kiato o nga kiriata angiangi: Ka taea e te hafnium tetrachloride te parakore te hanga i nga kiriata rite me te matoka i te wa e tuku ana te kohu matū (CVD). Mena he poke te hafnium tetrachloride, ka puta he koha, he kohao ranei enei poke i te wa o te tukunga, ka heke iho te rite me te kiato o te kiriata. Hei tauira, ka paheke pea te matotoru o te kiriata i te poke, ka pa ki te mahi hiko o te taputapu.
Ko nga ahuatanga dielectric o nga kiriata angiangi: I te wa e whakareri ana i nga rauemi tuuturu teitei (penei i te hafnium dioxide, HfO₂), ka pa te ma o te hafnium tetrachloride ki nga ahuatanga dielectric o te kiriata. Ka taea e te hafnium tetrachloride tino parakore te whakarite ko te kiriata hafnium dioxide kua penapena he nui te dielectric tamau, he iti te rerenga o naianei me te pai o nga ahuatanga whakamatao. Mena kei roto i te hafnium tetrachloride nga poke konganuku, etahi atu poke ranei, tera pea ka whakaurua etahi atu mahanga utu, ka piki ake te rerenga rerenga, ka whakaheke i nga ahuatanga dielectric o te kiriata.
2. Ka pa ki nga ahuatanga hiko o te taputapu
Te naianei Leakage: Ko te teitei ake o te parakore o te hafnium tetrachloride, te parakore o te kiriata kua whakatakotohia, me te iti ake o te rerenga rerenga. Ko te nui o te rerenga rerenga ka pa tika ki te kohi hiko me te mahi o nga taputapu semiconductor. Ka taea e te hafnium tetrachloride parakore teitei te whakaheke i te rerenga rerenga, na reira ka pai ake te kaha o te kaha me te mahi o te taputapu.
Ngaohiko pakaru: Ko te noho mai o nga poke ka whakaiti i te ngaohiko pakaru o te kiriata, ka ngawari ake te pakaru o te taputapu i raro i te ngaohiko teitei. Ka taea e te hafnium tetrachloride te parakore teitei te whakanui ake i te ngaohiko pakaru o te kiriata me te whakarei ake i te pono o te taputapu.
3. Ka pa ki te pono me te oranga o te taputapu
Pūmautanga wera: Ka taea e te hafnium tetrachloride te parakore te pupuri i te pai o te waiariki i roto i te taiao teitei o te wera, te karo i te pirau waiariki, te huringa wahanga ranei na te poke. Ka awhina tenei ki te whakapai ake i te pumau me te oranga o te taputapu i raro i nga tikanga mahi wera nui.
Pūmautanga matū: Ka tauhohe matū te poke ki ngā rawa huri noa, ka heke te pūmautanga matū o te taputapu. Ka taea e te hafnium tetrachloride parakore teitei te whakaheke i te puta o tenei tauhohenga matū, na reira ka pai ake te pono me te oranga o te taputapu.
4. Paanga ki te hua hanga o te taputapu
Whakaitihia nga hapa: Ka taea e te hafnium tetrachloride te parakore teitei te whakaheke i nga hapa i roto i te tukanga whakaheke me te whakapai ake i te kounga o te kiriata. Ka awhina tenei ki te whakapai ake i nga hua whakangao o nga taputapu semiconductor me te whakaheke i nga utu whakaputa.
Whakapai ake i te riterite: Ka taea e te hafnium tetrachloride tino parakore te whakarite kia rite tonu te mahi o nga roopu kiriata rereke, he mea tino nui mo te hanga nui o nga taputapu semiconductor.
5. Paanga ki nga tukanga matatau
Te whakatutuki i nga whakaritenga o nga tikanga matatau: I te mea kei te whanake haere tonu nga mahi hangahanga semiconductor ki nga tikanga iti, kei te piki haere nga whakaritenga mo nga rawa. Hei tauira, ko nga taputapu semiconductor me te tukanga o te 14nm me raro i te nuinga o te waa e hiahia ana te ma o te hafnium tetrachloride neke atu i te 99.999%. Ka taea e te hafnium tetrachloride te tino parakore te whakatutuki i nga whakaritenga rawa o enei mahinga o mua me te whakarite i te mahi o nga taputapu i runga i te mahi nui, te iti o te kaha o te hiko me te tino pono.
Te whakatairanga i te ahunga whakamua hangarau: Ko te hafnium tetrachloride parakore teitei e kore e taea te whakatutuki noa i nga hiahia o naianei mo te hanga semiconductor, engari ka whakarato ano hoki i tetahi kaupapa rauemi nui mo te whakawhanaketanga o nga hangarau hiko hikoi a muri ake nei.
Ko te ma o te hafnium tetrachloride he paanga nui ki te mahi, te pono me te oranga o nga taputapu semiconductor. Ka taea e te hafnium tetrachloride te parakore teitei te kounga me te mahi o te kiriata, te whakaheke i te rerenga o naianei, te whakanui ake i te ngaohiko pakaru, te whakarei ake i te pumau o te waiariki me te pumau matū, na reira ka pai ake te mahi me te pono o nga taputapu semiconductor. Na te haere tonu o te hangarau hangahanga semiconductor, ka piki ake nga whakaritenga mo te ma o te hafnium tetrachloride, ka kaha ake te whakatairanga i te whakawhanaketanga o nga hangarau purenga e pa ana.
Te wa tuku: Apr-22-2025